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光学膜厚仪(光学膜厚仪 过正控制方法)

       

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光学薄膜厚度测量仪(锂电池测厚仪)的工作原理是什么?

对于光学薄膜厚度测量这一操作原理,大家应该不是控制很清楚,我们借用工具来说明下。光学过正深圳大成精密研制了一款光学干涉测厚仪(锂电池测厚仪),膜厚利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的仪光原理,从而测量得出被测物的学膜厚度。有这个需要的厚仪话,大家放心选择该品牌产品,控制操作简单、光学过正质量可靠。膜厚

现在要买薄膜测量仪的话,买哪个厂家的好?

如果对厚度测量的要求不是特别精确,那么台阶仪相对较高,那么就使用椭偏仪。

光学薄膜测厚仪(光谱测厚仪系列)核心技术介绍及原理讲解广州金都科恩精密仪器有限公司为您解答:光谱测厚仪系列具有非接触无损测量、无需样品预处理、软件支持Windows操作系统等特点,ST系列是一种使用可见光测量在晶片和玻璃等基底上形成的氧化膜、氮化膜、光刻胶和其他非金属膜厚度的仪器。测量原理如下:用可见光垂直照射待测晶片或玻璃上的薄膜。在此期间,一部分光在薄膜表面反射,另一部分光穿透到薄膜内部,然后在薄膜与底层(晶片或玻璃)的界面反射。此时,从薄膜表面反射的光和从薄膜底部反射的光发生干涉。SpectraThick系列就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。仪器的光源为钨灯,波长范围为400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这个原理,测量区域的直径是4微米到40微米(2微米到20微米可选)。ST8000-Map作为K-MAC最重要的产品之一,具有图像处理功能,是超越一般膜厚测量仪极限的新概念测厚仪。被测区域的最小直径为0.2μm,远远超过一般测厚仪的测量极限(4μm)。只有依次测量几十个点才能得到的厚度图,也可以一次测量得到,大大提高了速度和精度。这项技术已经获得专利。韩国K-MAC SpectraThick系列的另一个优点是在一般仪器无法测量的粗糙表面(如铁板、铜板)上形成的膜厚也可以测量。这是一种叫做视觉厚度的新概念的测量原理。除了测量薄膜厚度之外,它还具有测量透射率、在玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻、接触角等功能。目前国内外半导体行业和光刻胶行业很多知名企业都选择了K-MAC膜厚仪。广州金都科恩精密仪器有限公司是中国的总代理,您可以通过访问企业网站了解更多关于不同应用仪器的信息。。产品说明:本仪器是将紫外-可见光照射在被测物体上,利用被测物体反射的光来测量薄膜厚度的产品。本产品主要用于导电膜领域的研发或生产,特别是作为半导体在线监测仪器及相关显示工作。产品特点1)由于使用的是光,所以是非接触、非破坏性的,不会影响实验样品。2)可以获得薄膜的厚度和n、k数据。3)测量快速准确,不需要对测量用实验样品进行破坏或处理。4)可以测量3层以内的多层膜。5)可根据应用自由选择手动或自动类型。6)产品风格多样,也可根据客户要求设计产品。7)晶圆/LCD(载物台尺寸3”)上可测量的薄膜厚度8)桌面型,适用于大学、研究实验室等。

光学膜厚仪的使用及原理

光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明

SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer,glass等substrates上形成的氧化膜,氮化膜,Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。

测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

仪器的光源使用Tungsten Lamp,波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理,测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一,有image processs功能,是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm,远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到,使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。

K-MAC (株) SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板,铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率,玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻,接触角度 (Contact Angle) 等的功能。

产品说明

本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。

这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为

In-Line monitoring 仪器使用。

产品特性

1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。

2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。

3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。

4) 可测量 3层以内的多层膜。

5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。

6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。

7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )

8)Table Top型, 适用于大学,研究室等

光学膜厚仪的介绍就聊到这里吧,感谢你花时间阅读本站内容,更多关于光学膜厚仪 过正控制方法、光学膜厚仪的信息别忘了在本站进行查找喔。


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